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Silicon Tetrachloride Pyrolysis
硅四氯化物热解之法
夫欲得高纯之硅,硅四氯化物热解之法甚要。其法乃将硅四氯化物,置于特制之反应釜中。釜具极佳之耐热与抗蚀性,以保反应安稳。

先,升温至适宜之温域,此温需精准控之。因温度过低,则反应迟缓,产物不纯;温度过高,又恐致副反应丛生。待达所需温度,硅四氯化物渐起热解。硅四氯化物于高温之下,析硅与氯气。

硅者,渐聚成微粒,沉降于釜底,经后续精制之法,可得高纯之硅,适用于诸多高科之域,如芯片制造、光伏产业等。而氯气,亦需妥善收集与处理,不可任其逸于大气,以免污环境,且氯可回收再用,以节资源。

行此热解之法,务须严监各参数,如温度、压力、反应时长等。精准调控,方可使反应顺行,得优质之硅产品,以应今之科技发展之需。