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硅之四氯化物，其形有规。硅居中心，为核之位。四氯原子，以共价连，环绕硅周，呈正四面体之状。

硅氯之间，共价稳固。氯具强电负，引电子趋之，然硅亦守其键，结构乃安。此结构之妙，使四氯化硅具特性。其于反应之中，因结构有序，或起取代，或生加成，皆依此结构而发。