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三甲氯硅烷者，化学之要剂也。其性活泼，常温之下为无色透明之液体，具刺鼻之气味，且有挥发性。其沸点颇低，于空气中易潮解，遇水则速起反应，生氯化氢等物。

至于其用，广涉诸域。于有机合成之业，常为保护基之选，以护特定之官能团，待适当时机，又可便捷脱除，不扰他部结构。于材料制备，亦能助力，经特殊反应，可制得具特异性能之材料，或增其稳定性，或改其表面性质。

其反应多样。与醇类相触，醇之羟基与三甲氯硅烷之氯原子易生取代，成硅醚类物，此于有机合成步骤，可巧妙变换官能团形式。与含活泼氢之化合物，如胺类，亦能反应，氢原子被三甲硅基替代，衍生新之产物。且于催化剂助益下，还可参予复杂之聚合反应，以成独特结构之聚合物。凡此种种，皆显三甲氯硅烷于化学领域，功用至伟，为诸般反应与合成不可或缺之要素也。